九游官网登录入口地址:中科仪启动招股：唯一覆盖全工艺国产干泵存储扩产订单持续落地

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  潮起东方，科技为帆。在半导体国产化浪潮奔涌、基础科研自主可控成为国家核心战略的时代背景下，关键核心设备的突破，既是产业升级的“必答题”，更是国家竞争力的“试金石”。

  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”），以中科院七十载科研积淀为基，深耕真空装备领域数十载。从打破国外垄断到扛起国产化大旗，从服务国家重大专项到赋能半导体核心产业链，其发展轨迹始终与国家战略同频共振，每一步都精准踩在时代需求的关键点上。

  这家真空设备领域的“国家队”，不仅是市场层面的行业领军者，更是国家破解半导体产业自主化难题、筑牢关键领域国产可控根基的战略支点。

  北交所官网显示，中科仪已于2026年4月10日启动北交所发行，距正式登陆长期资金市场仅一步之遥。此次发行上市，中科仪有望借助长期资金市场的东风淬炼技术实力，以硬核科技诠释中国智造的力量，在产业之巅书写属于中国装备制造的新篇章、为半导体全产业链国产化注入持久动能。

  半导体产业的自主可控，离不开半导体制造关键设备及零部件的技术突破，而真空泵正是其中的“心脏部件”——集成电路产业15个主要工艺环节中，11个需依赖真空泵构建洁净线%。一旦干式真空泵发生故障，将直接引发生产线停摆，其战略重要性不言而喻。

  此前，干式真空泵的研发、生产技术一直被欧洲、日本等国外企业垄断，成为制约我国集成电路供应链安全的难题之一。而在高端真空设备领域，中科仪的历史底色，始终与“打破垄断、从0到1”的使命紧密相连。

  经过数十年的技术沉淀，2001年，中科仪成功研发出用于科研领域以实现清洁真空环境的涡旋干式真空泵，打破国外厂商对干式真空泵市场的长期垄断，拉开了该领域国产化的序幕。

  自2005年以来，中科仪更是连续13次承担“02专项”“863计划”“国家重点研发计划”等国家级重大科研专项或课题，在真空科学仪器设施的技术壁垒中持续突围。其中，依托国家“02”重大专项，中科仪研发出3个系列9个型号干式真空泵（机组），实现半导体领域用干式真空泵的技术壁垒突破，实现了干式真空泵的产业化落地，终结了国外企业的垄断格局。

  中科仪前进的脚步并未停止，此后仍持续优化干式真空泵的性能、提升产品质量，产品得到长江存储、长鑫科技、中芯国际、华虹宏力等头部集成电路制造企业多条产线的大批量应用，以极强的战略必要性与需求刚性，成为产业链不可或缺的核心环节。

  如今，中科仪慢慢的变成了集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业——既是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻全工艺场景均实现批量应用的国产企业，其产品可满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3DNAND工艺需求，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控与供应链安全，奠定了其在高端真空设备领域无法替代的行业地位。

  这份底气，更源于其“中科院系”的独特基因与顶级资源加持。股权结构显示，中国科学院控股有限公司持有国科科仪控股有限公司100%股权，并通过国科科仪控制中科仪35.21%股份，是中科仪的实际控制人。中科院的强力背书，为中科仪赋予了顶尖的人才引力、前瞻的科研洞察与深厚的信誉资产，构成了国内竞争对手难以逾越的战略安全垫。

  更值得关注的是，国家集成电路基金的战略持股，进一步将中科仪的品牌优势推向新高度。国家大基金的入股，绝非单纯的资金支持，更向市场传递了强烈信号——中科仪已被纳入国家集成电路产业高质量发展的核心梯队，其技术实力与发展的潜在能力得到国家层面的高度认可。

  如果说国家使命与顶级资源加持是中科仪的“外部护城河”，那么以持续创新构筑技术壁垒、以龙头地位撬动市场增长的内生发展逻辑，则是其将战略稀缺性转化为可持续商业成功的核心动能。

  要实现从“跟跑”到“领跑”的跨越，离不开从0到1的原始创新突破，而这正是中科仪始终坚守的发展内核。作为诞生之初就肩负着服务国家科研使命的企业，中科仪早已将创新基因深深植入公司发展的血脉之中。

  在干式真空泵技术探索这条充满未知与挑战的道路上，中科仪依托真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台的强大支撑，在干式真空泵领域不断实现关键技术突破，逐步构建起高端技术壁垒。

  集成电路行业由于对干式真空泵真空压力稳定性、抗大气载冲击能力、抗特气腐蚀、无故障运行时间以及占地尺寸等性能指标要求更高，而呈现较高的技术壁垒。在该领域，罗茨干泵凭借其独特的转子型线设计、气体流通通道设计、动密封结构设计等，在集成电路行业呈现更好的适配性。在技术原理方面，中科仪与Edwards等国际竞争对手基本均采用罗茨技术，技术原理不存在重大差异。

  胶、刻蚀等）、还是苛刻工艺（如金属刻蚀、CVD），中科仪典型产品关键指标均与国际竞争对手处于同一水平。这也代表着，中科仪的产品已经具备与国际竞争对手同台“掰手腕”的硬核实力。

  这份实力，与中科仪对研发创新的格外的重视密不可分。作为中科院下属公司，长期以来中科仪格外的重视技术创新。财务多个方面数据显示，2023年公司研发费用达8465.08万元，2024年研发费用增至1.10亿元，近年来，中科仪长期保持高比例研发投入，研发费用率达到10%左右。

  持续的研发投入，结出了丰硕的知识产权成果。通过多年的研发积累和工艺创新，中科仪自主研发形成了8大核心技术，截至2025年底，该公司已获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，并取得软件著作权登记37项。同时，中科仪还负责或作为主要参与方起草了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准，引领行业技术规范发展；2022年承担攻关任务，研发应用于先进制程苛刻工艺的干式真空泵；公司先后获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项，中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项，彰显了其深厚的科研实力。

  技术硬实力稳步落地，最终转化为商品市场影响力与客户认可度。公司中科仪的产品广泛支持国内主流晶圆厂，以及国内主流集成电路设备制造企业。

  截至目前，中科仪各类干式真空泵的出货量已累计超过4万台，其中集成电路领域出货量超3万台。依据市场预计数据测算，2024年该公司干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%，不仅成功打破欧美及日本企业在国内市场长期垄断，而且公司凭借优质的产品质量和持续不断的研发创新，现已居于行业头部领头羊。放眼国际市场，中科仪的竞争力同样凸显。该公司产品已通过台积电、SK海力士的测试验证并实现小批量出货，标志着其技术水平获得全球顶尖企业认可。

  从市场前景来看，受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着良好的发展形态趋势。根据SEMI预计数据及测算结果，2024年全球集成电路领域干式线亿元。我国是全球集成电路产业最主要的市场之一，受益于我国政府全力支持相关领域发展，近年来我国集成电路制造能力迅速提升，根据SEMI预计数据及测算结果，2024年中国内地集成电路领域干式线亿元，市场空间广阔。

  作为国内龙头，中科仪不仅将成为行业增长的受益者，更是国产化率提升这一结构性变革的主导者之一。双重动能的加持，为其未来的增长提供了极具弹性的想象空间。

  从国家实验室走向全球晶圆厂，中科仪的旅程印证了一个道理：真正的自主可控，源于持之以恒的创新，成于市场严苛的锤炼。这不仅仅是一个企业的成功，更象征着中国高端制造如何凭借战略定力与创新韧劲，在曾被牢牢封锁的领域打开缺口，并建立起属于自身个人的护城河。在长期资金市场的助力下，这家真空领域的“国家队”有望以更快的速度转动技术与商业的飞轮，持续强化核心竞争力，在中国乃至全球的半导体产业地图上，刻下更深的中国印记。

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